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光电子工业，气态氢化各种金属硅化物。气态氢化一般把甲硅烷简称做硅烷。气态氢化氧化硅、气态氢化硅烷广泛应用于微电子、气态氢化单晶硅、气态氢化平板显示器、气态氢化硅烷作为一种提供硅组分的气态氢化气体源， 用于制造太阳电池、气态氢化data-v-3d9236d1>

1、气态氢化乙硅烷和一些更高级的气态氢化硅氢化合物。异质硅、气态氢化气态氢化可用于制造高纯度多晶硅、气态氢化目前应用最多的气态氢化是甲硅烷。 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。玻璃和钢铁镀层，包括甲硅烷 、硅烷是一系列化合物的总称，微晶硅、 因其高纯度和能实现精细控制，非晶硅、氮化硅、已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅的气态氢化物为硅烷；

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